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![]() ブレイカー NVK-100 |
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■予めチップ化のためにスクライブされたウエハ(水晶・ガラス・![]() セラミック等)を全自動高速でチップ化を行うことが可能。 ![]() 1. 各種ウエハ(水晶・ガラス・セラミックス等)のスクライブ ![]() ラインを画像処理で自動アライメントを行い、方向をブレ ![]() ークします。 ![]() さらに任意角度旋回し、Y方向のアライメント、ブレークで ![]() チップ化します。 ![]() 2. 操作は、タッチパネル方式で簡単! ![]() 3. 50種以上のブレイク条件を保存可能。 ![]() 品種毎の管理をすることが可能。 ![]() 4. ロボットと組み合わせることで、カセットからカセット ![]() までのロード・アンロードを含むワークセッティング・アラ ![]() イメント・X, Yブレークを全て自動化することが可能。 ![]()
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